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第164章 期未迎考(2 / 2)

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高大的拱形门廊投下庄重的阴影,门楣上,“国家科学院”几个鎏金大字在午后阳光下熠熠生辉。空气里弥漫着一种截然不同的味道——洁净的消毒水气息混合着精密仪器特有的、冰冷的金属油味。走廊宽阔明亮,一尘不染的大理石地面映出他从容的身影。偶尔有穿着白大褂或严谨西装的研究员步履匆匆地走过,低声交谈着晦涩的术语,带着一种心无旁骛的专注。警卫的目光在他胸前佩戴的特殊通行证上短暂停留,随即移开,带着一丝不易察觉的敬意。

他推开一间中型报告厅厚重的橡木门。里面光线柔和,巨大的投影屏上,正展示着复杂到令人目眩的光刻机光学系统分解图。头发花白、戴着金丝边眼镜的老教授李光楠院士站在台上,声音透过麦克风清晰地传遍整个空间:“……目前我们面临的核心瓶颈,在于193nm深紫外光源的稳定性和掩膜版材料的透射率极限。下一代EUV光刻技术,其13.5nm的极紫外光源的产生与聚焦控制,将是决定性的突破点……”

台下坐着的,无不是领域内举足轻重的学者、项目负责人。他们或凝神倾听,或飞速记录,眉头紧锁,眼神里是对未知疆域最深的探求与凝重。整个空间弥漫着一种无形的重量,那是前沿科技攻坚克难所特有的、令人屏息的庄严感。

曾子轩悄无声息地在后排一个空位坐下。他身体微微前倾,目光专注地落在那些复杂的结构图和物理公式上,听得极其认真,仿佛这深奥的讲座内容正是他此刻最渴求的养分。偶尔,他修长的手指在随身携带的硬皮笔记本上快速划过几笔,记下的并非具体的公式推导,更像是一些关键节点的符号或简略的思考方向。他沉静的姿态,与报告厅里弥漫的肃穆氛围融为一体,毫无违和感。

“……因此,多层膜反射镜的精确镀膜工艺,是承载EUV光能否成功聚焦的关键命门。”李院士的讲解告一段落,目光扫视全场,“在座的各位同仁,对此有什么见解或疑问吗?”

短暂的静默后,曾子轩清越的声音在安静的厅堂里响起,不高,却清晰地传到每个角落:“李院士,关于多层膜反射镜的热形变补偿问题。考虑到EUV光源本身的高热负载,是否可以在膜层结构设计中,预先引入基于拓扑优化的微纳应力调节机制?比如,参考‘莫比乌斯环’在纳米尺度上的应力分布特性,进行仿生设计?”

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